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裝片 超聲波清洗 製絨 去離子水清洗 IPA 脫水 擴散 等離子體邊緣刻蝕 去磷矽玻璃 IPA 脫水 PECVD 電極絲網印刷及烘幹 電極燒結 分類檢測 包裝入庫
其中:擴散、PECVD、燒結是關鍵工序,各工序必須製訂嚴格的工藝要求和工藝參數
車間溫濕度要求
由於製程工藝特殊性,所要求的送、排風、送、排水管道多,且風量大,因此車間的層高為 5-6m,其中車間的吊頂高度為 3.0m.周邊設施需配製的機房有:純水機房、酸排處理塔、有機氣體處理機房、矽烷燃燒塔、廢水處理機房、冷卻水泵房、空調風櫃及冰水主機房、壓縮空氣及其它特氣機房。機房大小根據機台的需求量來選定。主體結構為鋼結構的廠房需為各種管道配製承重的二次鋼結構,二次鋼結構的高度為 5-6m。
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