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如保讓潔淨室更節能:
一、摘要:潔淨室裏存在大量可以節約能源的地方,例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。
HVAC係統消耗的電力超過了整座晶片製造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧後期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中。升級的投資收回率通常比直接購買新設備要高很多。大部分工廠設備翻新的投資回收期不超過兩年――也就是說,通常投資收回率至少是50%,對照投資新的固定資產,則隻有10%到15%(即投資回收期需要七年時間)。這些情況降低了企業的競爭力和投資股東的興趣。在今天高度發達的工業中,工廠運行和產品設計一樣需要改革。 高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪費的能源比賣產品更能增加利潤,因為節約下來的錢在最終效益中馬上就能體現出來。雖然能源的成本占晶片產品成本占不到百分之二,但是電能卻是晶片製造商在運行中的開支卻是最大的,每座工廠每年總共要消耗上百萬美元的電能。在新建工廠時,節能措施可以節約資本和建造時間。雖然初步設計報價昂貴,但是經濟翻新的可能性仍然存在。設備翻新的投資回收期不超過兩年,總體而言,在某種程度上投資收回率是較高的。
一、 低斷麵風速設計 斷麵風速就是空氣處理部件中空氣經過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。 大部分午夜精品视频在线師根據“經驗”把空氣處理器設計成500英寸/分鍾。這樣的設計雖然節省時間,但是卻增加了運作費用。在低斷麵風速(LFV)設計中,使用更大的空氣處理器和更小的風機,從而降低空氣的流速,降低能耗和設壽命成本。 壓降決定了風機的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷麵風速降低20%,那麽壓降將下降36%;如果斷麵風速降低50%,壓降將下降四分之三。根據“立方定則”,風機能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%,風機能耗將下降88%。 因此,較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管麵積消耗較少的風機能量,可以使用比較小的風機和馬達。小風機給空氣添加的熱量比較少,降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高,所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷麵風速情況下,工作效果更好、壽命更長。 LFV設計減少了空氣和水的壓降,減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設計,幾乎沒有尖角,從而使壓降減少10%到15%。 LFV設計也可以把壓降降低四分之一。目標是使能量損耗降低至少25%,減小變速風機的大小。最優的斷麵風速範圍是250-450英尺/分鍾,具體取決於使用情況和能量消耗。
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