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1、亂流式：

　　 空氣由空調箱經風管與亚洲午夜成人网站內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室，並由亚洲午夜成人网站兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。

　　2、層流式：

　　 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆板回風，此型式適用於潔淨室等級需求較高之環境使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)亚洲午夜成人网站水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風係統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側汙染較嚴重。

　　(2)亚洲午夜成人网站垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

　 　3、複合式：

　　 複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。

　　(1)亚洲午夜成人网站潔淨隧道：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製程大都采用此種型式。潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

　　(2)亚洲午夜成人网站潔淨管道：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

　　(3)亚洲午夜成人网站並裝局部潔淨室：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；即屬此類。

      (4)Class 1~100亚洲午夜成人网站對溫度，濕度，風速的要求

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