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無塵室的安全要求

文章出處:新聞資訊 責任編輯:東莞市午夜福利在线视频空調淨化午夜精品视频在线有限公司 發表時間:2021-01-23
  

無塵室的安全要求:

    一、無塵室須知

  1. 進入無塵室前,必須知會管理人,並通過基本訓練。

  2. 進入無塵室嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜誌,鉛筆...等)不可攜入,並嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。

  3. 進入無塵室前,需在規定之處所脫鞋,將鞋置於鞋櫃內,外衣置於衣櫃內,私人物品置於私人櫃內,櫃內不可放置食物。

  4.進入無塵室須先在更衣室,將口罩,無塵帽,無塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊,再經空氣洗塵室洗塵,並踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。

  5. 戴口罩時,應將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時汙染芯片。

  6. 穿著無塵衣,無塵帽前應先整理服裝以及頭發,以免著上無塵衣後,不得整理又感不適。

  7. 整肅儀容後,先戴無塵帽,無塵帽的穿戴原則係:

  (1)頭發必須完全覆蓋在帽內,不得外露。

  (2)無塵帽之下擺要平散於兩肩之上,穿上工作衣後,方不致下擺脫出,裸露肩頸部。

  8.無塵帽戴妥後,再著無塵衣,無塵衣應尺吋合宜,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態,無塵衣不可反穿。

  9. 穿著無塵衣後,才著鞋套,拉上鞋套並將鞋套整平,確實蓋在褲管之上。

  10. 戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子汙染),戴上手套後,應將手套之手腕置於衣袖內,以隔絕汙染源。

  11. 無塵衣著妥後,經洗塵,並踩踏除塵毯,方得進入無塵室。

  12. 不論進入或離開無塵室,須按規定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區域為之,尤不可在無塵室內邊走邊脫。

  13. 無塵衣,鞋套等,應定期清洗,有破損,脫線時,應即換新。

  14. 脫下無塵衣時,其順序與穿著時相反。

  15. 脫下之無塵衣應吊好,並放於更衣室內上層櫃子中;鞋套應放置於吊好的無塵衣下方。

  16. 更衣室內小櫃中,除了放置無塵衣等規定物品外,不得放置其它物品。

  17. 除規定紙張及物品外,其它物品一概不得攜入無塵室。

  18. 無塵衣等不得攜出無塵室,用畢放置於規定處所。

  19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重複使用。

  20. 任何東西進入無塵室,必須用灑精擦拭幹淨。

  21. 任何設備的進入,請知會管理人,在無塵室外擦拭幹淨,方可進入。

  22. 未通過考核之儀器,禁止使用,若遇緊急情況,得依緊急處理步驟作適當處理,例如關閉水、電、氣體等開關。

  23. 無塵室內絕對不可動火,以免發生意外。

  二、無塵室操作須知

  1.  處理芯片時,必須戴上無纖維手套,使用清洗過的幹淨鑷子挾持芯片,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸汙染過的芯片須經清洗,方得繼續使用:

  (1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭髒鑷子。

  (2) 芯片清洗後進行下一程序前,若被手指碰觸過,必須重新清洗。

  (3)把芯片放置於石英舟上,準備進爐管時,若發現所用鑷子有汙損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的汙染,必須將芯片重新清洗,並立即更換幹淨的鑷子使用。

  2. 芯片必須放置盒中,蓋起來存放於規定位置,盡可能不讓它暴露。

  3.避免在芯片上談話,以防止唾液濺於芯片上,在芯片進擴散爐前,請特別注意,防止上述動作產生,若芯片上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之。

  4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上,取出芯片時,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。

  5. 芯片上,若已長上氧化層,在送黃光室前切勿用鑽石刀在芯片上刻記。

  6. 操作時,不論是否戴上手套,手絕不能放進清洗水槽。

  7. 使用化學站或烤箱處理芯片時,務必將芯片置放於鐵弗龍晶舟內,不可使用塑料盒。

  8. 擺置芯片於石英舟時,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然後再進氧化爐。

  9. 請勿觸摸芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片汙染,必須重作清洗。

  10. 手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置於操作台,手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。

  11. 非經指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控製鈕或把手。

  12. 奇怪的味道或反應異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關人員。

  13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時,務必立刻告知負責人員或老師。

  14. 芯片盒進出無塵室須保持幹淨,並以保鮮膜封裝,違者不得進入。

  15. 無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。

  三、黃光區操作須知

  1. 濕度及溫度會影響對準工作,在黃光區應注意溫度及濕度,並應減少對準機附近的人,以減少濕、溫度的變化。

  2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區以免感光。

  3. 己上妥光阻,而在等待對準曝光之芯片,應放置於不透明之藍黑色晶盒之內, 盒蓋必須蓋妥。

  4. 光罩使用時應持取邊緣,不得觸及光罩麵,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣槍吹之。

  5. 曝光時,應避免用眼睛直視曝光機汞燈。

  四、鑷子使用須知

  1. 進入實驗室後,應先戴上手套後,再取鑷子,以免沾汙。

  2. 唯有使用幹淨的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭汙染,必須拿去清洗,方可再使用。

  3. 鑷子使用後,應放於各站規定處,不可任意放置,如有特殊製程用鑷子,使用後應自行保管,不可和實驗室內各站之鑷子混合使用。

  4. 持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。

  5. 挾取芯片時,順序應由後向前挾取,放回芯片時,則由前向後放回,以免刮傷芯片表麵。

  6. 挾取芯片時,"短邊" (鋸狀頭)置於芯片正麵,"長邊" (平頭)置於芯片背麵,挾芯片空白部分,不可傷及芯片。

  7. 嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。

  8. 鑷子僅可做為挾取芯片用,不準做其它用途。

  五、化學藥品使用須知

  1. 化學藥品的進出須登記,並知會管理人,並附上物質安全資料表(MSDS)於實驗室門口。

  2. 使用化學藥品前,請詳讀物質安全資料表(MSDS),並告知管理人。

  3. 換酸前必先穿著防酸塑料裙,戴上防酸長袖手套,頭戴護鏡,腳著塑料防酸鞋,始可進行換酸工作。

  4. 不得任意打開酸瓶的蓋子,使用後立即鎖緊蓋子。

  5. 稀釋酸液時,千萬記得加酸於水,絕不可加水於酸。

  6. 勿嚐任何化學藥品或以嗅覺來確定容器內之藥品。

  7. 不明容器內為何種藥品時,切勿搖動或倒置該容器。

  8. 所有化學藥品之作業均須在通風良好或排氣之處為之。

  9. 操作各項酸液時須詳讀各操作規範。

  10. 酸類可與堿類共同存於有抽風設備的儲櫃,但絕不可與有機溶劑存放在一起。

  11. 廢酸請放入廢酸桶,不可任意傾倒,更不可與有機溶液混合。

  12. 廢棄有機溶液置放入有機廢液桶內,不可任意傾倒或倒入廢酸桶內。

  13. 勿任意更換容器內溶液。

  14.欲自行攜入之溶液請事先告知經許可後方可攜入,如果欲自行攜入之溶液具有危險性時,必須經評估後方可攜入,並請於容器上清楚標明容器內容物及保存期限。

  15. 廢液處理:廢液分酸、堿、氫氟酸、有機、等,分開處理並登記,回收桶標示清楚,廢液桶內含氫氟酸等酸堿,絕對不可用手觸碰。

  16.漏水或漏酸處理:漏水或漏酸時,為確保安全,絕對不可用手觸碰,先將電源總開關與相關閥門關閉,再以無塵布或酸堿吸附器處理之,並報備管理人。

  六、化學工作站操作

  1.   操作時須依規定,戴上橡皮手套及口罩。

  2.   不可將塑料盒放入酸槽或清洗槽中。

  3.   添加任何溶液前,務必事先確認容器內溶劑方可添加。

  4.  在化學工作站工作時應養成良好工作姿勢,上身應避免前傾至化學槽及清洗槽之上方,一方麵可防止危險發生,另一方麵亦減少汙染機會。

  5.   化學站不操作時,有蓋者應隨時將蓋蓋妥,清洗水槽之水開關關上。

  6.  化學藥品濺到衣服、皮膚、臉部、眼睛時,應即用水衝洗濺傷部位15分鍾以    上,且必須皮膚顏色恢複正常為止,並立刻安排急救處理。

  7.   化學品外泄時應迅速反應,並做適當處理,若有需要撤離時應依指示撤離。

  8.   各化學工作站上使用之橡皮手套,避免觸碰各機台及工作台,及其它器具等物,一般操作請戴無塵手套。

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文章來源:http://www.scqmbn.com   譚宇明  13751461639

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