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無塵室或清淨室。它是汙染操控的根底。沒有無塵室,汙染靈敏零件不可能批量出產。在 FED-STD-2裏邊,將空氣中之塵土、壓力、溫度、濕度、氣流散布之景象及速度,操控於必定範圍內之空間。此處所指之塵土為肉眼無法看見的塵埃顆粒。
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